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分子束外延系統(tǒng)主要功能的介紹
日期：2025-05-09 21:08
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摘要：
分子束外延系統(tǒng)為一種在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用的分析儀器。近十幾年來在半導(dǎo)體工藝中發(fā)展起來的一項(xiàng)新技術(shù)包括分子束外延技術(shù)，其在超高真空條件下，類似于真空蒸發(fā)鍍把構(gòu)成晶體的各個(gè)組分和予摻雜的原子(分子)，通過一定的熱運(yùn)動(dòng)速度，根據(jù)一定的比例由噴射爐中往基片上噴射去進(jìn)行晶體外延生長而對(duì)單晶膜進(jìn)行制備的一種方法。簡(jiǎn)稱為MBE法
分子束外延系統(tǒng)主要功能
基于傳統(tǒng)的分子束外延（MBE）和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展出來了激光分子束外延系統(tǒng)（LMBE）。脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）結(jié)合對(duì)原位監(jiān)測(cè)進(jìn)行提供的反射高能電子衍射儀（RHEED），使得與分子束外延系統(tǒng)（（MBE）類似的單原子層精度的薄膜生長得以實(shí)現(xiàn)。與分子束外延系統(tǒng)（（MBE）的熱蒸發(fā)相比較，其為通過脈沖激光的高能量蒸發(fā)甚至電離材料，所以被叫做激光分子束外延系統(tǒng)（LaserMBE）。激光分子束外延系統(tǒng)（LaserMBE）屬于**薄膜制備設(shè)備，對(duì)于各種納米尺度的單層膜或多層膜的生長十分適用。
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